Атмосферная камера AX5000 компании Miyachi Unitek – это надежная, компактная камера с программным управлением на базе ОС Windows, что обеспечивает безопасную и удобную работу с камерой, оптимальной для задач герметизации компонентов. Внутренние стенки камеры выполнены из нержавеющей стали. Система базируется на жесткой трубчатой раме, что обеспечивает соответствие всем требованиям по автоматизации и точности перемещений. Камера обладает быстросъемным смотровым окном из небьющегося стекла с вмонтированными окнами для ручного манипулирования с подлокотниками и бутиловыми рукавицами. Конструкция камеры соответствует всем стандартам эргономики, обеспечивая удобное пользование системой.
Отсеки и печи Температура:
Вакуумные насосы: |
0-200о С (стандартно), выше – по запросу роторный, криогенный, турбомолекулярный |
Анализ и мониторинг Диапазон детектирования кислорода: Диапазон детектирования влажности: Детектирование гелия: Детектирование аргона: |
0-1000 PPM или в % 0-150 PPM или точка росы о С в % в % |
Подключение Электропитание:
Рабочий газ: Сжатый газ для автоматических дверей: Водяное охлаждение: |
5-проводное, 208 В переменного тока, 3 фазы, 30 А, 50/60 Гц или 5-проводное, 380-415 В переменного тока, 3 фазы, 30 А, 50/60 Гц 414 к Па
550 к Па Необходимо для охлаждения фланца печи (не требуется при наличии опционального рециркулятора) |
Очистка газа Одинарная газовая стойка: Двойная газовая стойка: Автоматическая двойная газовая стойка: |
51 м3/час Система удаления кислорода и понижения влажности |
Газовые смесители Ручные: Автоматические с обратной связью: |
Для двух или трех газов Для двух газов |
Другое Система удаления сажи: Замена оснастки:
Безопасность: |
51 м3/час или 170 м3/час Доступ с нижней стороны, загрузка спереди Защитные шторки от света, безопасное для глаз смотровое окно, световой индикатор состояния, блокировки |