Описание

Метод кассетной загрузки пластин в установке FAB12 дает дополнительное преимущество системам сращивания компании AML, обеспечивая высокую производительность как для пилотных партий, так и для крупносерийного производства.

Высокая производительность системы обеспечивается одновременными процессами выравнивания пластины, нагрева и вакуумирования. При совмещении пластин на поверхностях их реперные отметки не делаются, все процессы совмещения выполняются с помощью оптики. Благодаря совмещению во время нагрева система обеспечивает более точные результаты постмонтажного совмещения. Нагрев и охлаждение полностью контролируются. Смена оснастки для работы с разными пластинами занимает всего 10 минут. Данное оборудование позволяет выполнять сращивание нескольких пластин (более 2), общей толщиной до 8 мм. 

Система полностью управляется с ПК, через программное обеспечение в ручном и в автоматическом режимах. Все параметры сращивания (ток, напряжение, температура, давление в камере, усилие монтажа, время, программы выполнения процессов и т.д.) задаются оператором. 

Оптическая система состоит из двух цветных камер, дающих изображения двух соединяемых поверхностей (в увеличении).  

Отличительные особенности:

• In-situ процесс совмещения – одновременный нагрев, откачка и совмещение дают высокую производительность в одной рабочей камере – не требуется кластерное оборудование
• Модули автоматизации Brooks (кассетная загрузка, робот)
• Диаметр пластин 150, 200 и 300 мм 
• 1 мкм точность совмещения
• Низкая стоимость владения
• Соответствие SEGS/GEM, SECS300&E84
• Процессы анодной сварки, прямого сращивания, термокомпрессия, адгезионное соединений  и стеклоспай 
• Все процессы, включая совмещение, производятся в одной рабочей камере

Области применения:

• Изготовление МЭМС устройств
• Корпусирование на уровне пластины
• Создание 3Д сборок

Опции:

• УФ обработка
• Конфигурация «сквозь стену» 
• ISO1 минибокс чистоты (ламинарный поток между кассетным загрузчиком и рабочей камерой)

Технические характеристики

• Размер пластин 150, 200 и 300 мм
• Толщина пластин Макс. 6,5 мм (сращенные)
• Захват пластин 3 мм по кромке зона исключения
• Максимальная температура +560 °С
• Базовое давление 10-6 мбар
• Время откачки 5 мин до 10-5 мбар
• Максимальное усилие 15 кН
• Количество кассет 2 или 3
• Порты для рабочих газов 4
• Совмещение 1 мкм точность. Прозрачные и не прозрачные, реперные знаки сверху и снизу пластины 
• Анодная сварка 2,5 кВ DC, 40 мА